蘭格智能泵助力“中國芯”制造

                                      中國是全球最大的半導體產品消費國家,但近90%的芯片需求仍仰賴進口集成電路。有分析稱,“中國芯”只是時間問題,中國政府已發布了促進芯片產業的戰略,近年來美國的技術遏制很可能使得中國芯片追趕速度會更快。

                                      芯片制造涉及到哪些關鍵工藝?

                                      芯片生產是一個非常復雜的點砂成金的過程——從砂子到晶圓再到芯片。

                                      晶片先從砂石里層層提煉出來,中間涉及有拉晶、切割的工藝。然后在做好的晶圓上制作電路及電子元件,這也是是芯片制造中最關鍵的環節,主要包含鍍膜、光刻、顯影、刻蝕、離子注入等工藝,再經過百道復雜的工藝和幾個月的加工,才能在在指甲蓋大小的空間中集成數公里長的導線和數以億計的晶體管器件。而封裝與測試業務屬于集成電路產業鏈的后端行業。

                                      蘭格精密泵對芯片制造可提供什么支持?

                                      蘭格精密泵作為精密流體傳輸行業的領導者,一直致力于提供性能優越的產品與解決方案。針對芯片制造中的關鍵工藝環節-芯片鍍膜、顯影和蝕刻,蘭格可提供精密的產品組合,輸送重要的工藝化學品。

                                      客戶要求

                                      ·泵送介質:酸性試劑或者堿性試劑

                                      ·流量:幾十毫升/分鐘

                                      ·流量精度:±2%

                                      ·泵送液量范圍:幾十毫升至幾百毫升(與鍍膜厚度有關)

                                      ·鍍膜均勻性好,膜層致密

                                      ·工藝流程:蠕動泵泵送酸堿溶液,用于調節酸堿平衡度,然后將調節后的試劑泵送至噴頭,試劑被霧化后均勻噴灑至芯片表面進行鍍膜,鍍膜的厚度決定噴出的液量

                                      蘭格方案

                                      L100-1F+YZ1515x-A+25#Pharmed管

                                      蘭格智能泵產品組合的優勢

                                      ·智能型蠕動泵L100-1F采用7寸工業觸摸屏,提供圖形化界面,參數設置及操控都更加簡單方便。便于客戶進行參數設置及流量校準,以更高效的滿足高精度流量傳輸;

                                      ·智能型蠕動泵L100-1F具有參數方案保存功能,可根據不同的芯片鍍膜厚度要求,將工作參數保存為不同的方案。每次根據實際工藝需要直接調用工作參數,進一步幫助客戶提高工作效率;

                                      ·智能型蠕動泵L100-1F具有編程功能,客戶可根據實際工藝需要,實現均勻分配、預約啟動、工作過程中有計劃的反向運行、流量隨著時間發生周期性變化等功能;

                                      ·蠕動泵在傳輸流體時,流體僅與軟管內壁接觸,而PharmedBPT材質的軟管具有壽命長、化學耐受性強的特點,可延長軟管的使用壽命,減少停機時間,降低維護成本;

                                      ·智能型蠕動泵L100-1F具有觸摸屏、腳踏開關、模擬量信號、通信等多種控制方式,結合多種接口(USB,RJ11,DB9等),便于實現系統集成。

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